产品特点:

支持100mm-200mm硅片

5轴运动平台

肖特基场发射电子枪

加速电压：0.02-30kV

SE/BSE 探测器

放大倍率2-1000000倍

分辨率0.9nm@30kV（SE），2.5nm@30kV（BSE）

自动对焦

支持拍照脚本编辑

对标机型：

AMAT G6