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光学有图案晶圆检测
产品特点::
应用于第3代半导体
多种高倍率光学显微镜自动切换
结合明场、暗场、微分干涉、偏振等多种光学方案
宽光带成像光源,提供 > 100nm的灵敏度
对标机型:
Camtek Eagle系列
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