光学有图案晶圆检测

产品特点::

应用于第3代半导体

多种高倍率光学显微镜自动切换

结合明场、暗场、微分干涉、偏振等多种光学方案

宽光带成像光源,提供 > 100nm的灵敏度

对标机型:

Camtek Eagle系列

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