设备简介：

支持100mm-200mm硅片

自动对焦

肖特基场发射电子枪。

加速电压：0.02-30kV

SE/BSE 探测器

放大倍率2-1000000倍

分辨率0.9nm@30kV（SE），2.5nm@30kV（BSE）

WPH ≥ 15

对标机型：

HITACHI ：S9300